傳統的電加熱裝置能耗高，能源利用率低，加熱時間長，熱傳導不同。溫度均勻性難以一致，甚至容器本身的材質也會對樣品造成污染。輻射能正好可以緩解甚至避免這些問題，所以隨著時代的發展，新的方法出現了。微波消解儀是水質檢測前的一種預處理設備。它是一種將高壓消解和微波快速加熱相結合的儀器。水樣和酸的混合物吸收微波能量后，酸的氧化反應活性增加，樣品中的金屬元素被釋放到溶液中。
微波消解技術利用微波的滲透性和活化反應能力，對密閉容器中的試劑和樣品進行加熱，可以提高樣品容器中的壓力和反應溫度，從而大大提高了反應速度，縮短了樣品制備時間。主要有兩種類型：封閉式消解儀和自動聚焦消解儀。
1、封閉式消解儀將樣品放在一個有安全壓力設置的密封罐中。罐子的材料通常具有微波滲透性和低導電性。當封閉容器的壓力增加時，酸的沸點也相應增加，消化速度也隨之增加；同時，由于每個樣品罐都是獨立密封的，沒有空氣污染，沒有交叉污染，沒有酸的損失，消化也相對完整。但是，密封式微波消解儀能處理的樣品較少（一般有機樣品＜0.5g，無機樣品＜3g），安全隱患大。
2、自動聚焦消解儀是一種在常壓下處理大體積樣品的儀器。與封閉式消解儀相比，由于壓力的降低，安全性能大大提高，但也增加了減少樣品污染、溶劑消耗、揮發損失等方面的難度。
在封閉式微波消解中，常用酸體系主要使用硝酸，因為硝酸的沸點在高壓（520kPa）下可以上升到176℃，氧化能力會有明顯提高。此外，由于過氧化氫具有很強的氧化能力和簡單的分解產物，所以經常被用來與硝酸配合。過氧化氫-硝酸體系是除測定和消化氮元素外常用的溶劑。常用的比例是硝酸：過氧化氫=10：1。
3、加酸量的問題
加酸一般范圍是8-30毫升，但其實應用最多的為8-10毫升左右。
消解有機物（食品藥品生物塑料樣品）一般是以硝酸為主，輔助加1毫升雙氧水或1毫升濃硫酸，雙氧水和濃硫酸一般不超過2毫升，嚴格限制使用高氯酸。有些高分子聚合物或者工程塑料，需加入1-2毫升硫酸，個別含有少量無機物的，需加入1-2毫升氫氟酸。
無機物（礦物土壤金屬等）以王水或逆王水為主，輔助加2毫升氫氟酸。若消解過程產生氟化鈣沉淀可加硼酸溶解，也可將氫氟酸改加為氟硼酸。氧化鋁用硫酸加磷酸（3：2）來消解。某些無機物（金屬類）也可用鹽酸消解。有些含有少量有機物的淤泥、土壤等樣品，可酌情加1毫升雙氧水。污水中測磷需加過硫酸鉀溶液消解。
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